金融界3月11日消息精密机械 ，有投资者在互动平台向中石科技提问：光刻机工件台的纳米级运动精度对热变形极其敏感，公司是否开发过用于精密机械结构的主动温控材料（如动态导热补偿膜）？与海外竞品（如德国汉高）的技术差距体现在哪些参数（如导热速率波动率）？
公司回答表示：目前公司尚未开发用于精密机械结构的主动温控材料精密机械 。
来源：金融界
金融界3月11日消息精密机械 ，有投资者在互动平台向中石科技提问：光刻机工件台的纳米级运动精度对热变形极其敏感，公司是否开发过用于精密机械结构的主动温控材料（如动态导热补偿膜）？与海外竞品（如德国汉高）的技术差距体现在哪些参数（如导热速率波动率）？
公司回答表示：目前公司尚未开发用于精密机械结构的主动温控材料精密机械 。
来源：金融界
本文链接：http://nljjx.com/post/299.html